실리콘 질화물

 

질화규소는 뛰어난 강도와 열충격에 대한 저항성을 지닌 고온 구조용 세라믹입니다. 또한 광학 코팅, 절연층 및 확산 장벽과 같은 응용 분야의 전자 박막 재료로도 사용할 수 있습니다. 실리콘 질화물(Si₃N₄) 재료 특성의 탁월한 조합이 특징입니다. 탄화규소(SiC)만큼 가볍지만 미세 구조로 인해 내열 충격성이 뛰어나고 파괴 인성이 높아 충격과 충격에 강합니다.

 

 

 

	단위	SN1000 시리즈	SN2000 시리즈	SN3000 시리즈	SN4000 시리즈
열전도율 @ 20도	W/mK	25	24	25	28
열충격 매개변수 R1	K	558	748	590-620	700
열충격 매개변수 R2	W/m	14	18	15	19
CTE1 25도 ➞ 250도	10-6/K	1.9	1.9	1.9	1.9
CTE1 25도 ➞ 1000도	10-6/K	3.2	3.2	3.2	3.2
최대 온도(불활성) 2	도	1400	1400	1400	1400
최대 온도(산화) 2	도	1200	1200	1200	1200

 

질화규소(Si3N4)의 특성

매우 낮은 밀도(3.21g/cm2)³)

매우 높은 파괴인성(7MPam)^1/2)

우수한 굴곡 강도(850MPa)

매우 우수한 열충격 저항성: 높은 열 응력 매개변수(569K)

산화 분위기에서 최대 작동 온도: 1,300도

중성 대기에서 최대 작동 온도: 1,600도

 

 

 

 

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