Henry Edin St. Clair Deville과 Friedrich Wöhler는 1857 년에 실리콘 질화물의 합성을 먼저보고했습니다. 합성 방법에서, 그들이보고 한 합성 방법에서, 실리콘을 함유 한 도가니를 탄소로 채워진 도가니에 묻히고 산소의 침투를 줄이기 위해 가열되었습니다. 그들은 실리콘 질화물이라고 불리는 제품을보고했지만 화학 조성물을 알아 내지 못했습니다. 1879 년, Paul Schuetzenberger는 실리콘을 라이닝 (숯, 석탄 또는 코크스를 점토와 혼합하여 얻을 수있는 도가니 안감으로 사용될 수있는 페이스트)와 혼합 된 용광로로 가열하고 SI3N4의 조성물로 화합물로보고했습니다. 1910 년, Ludwig Weiss와 Theodor Engelhardt는 SI3N4를 얻기 위해 순수한 질소에서 실리콘을 가열했습니다. 1925 년에 Friederich와 Sittig는 질화 질화물을 합성하기 위해 질소 대기에서 이산화탄소 및 탄소를 1250-1300 정도로 가열하기 위해 탄수화물 감소를 사용했습니다.
실리콘 질화물의 상업적 응용이 나타날 때까지 질화 실리콘 질화물은 심각하게 받아 들여지지 않았으며 수십 년 동안 연구되지 않았다. 1948 년부터 1952 년까지 뉴욕 나이아가라 폴스 근처의 Acheson 's Diamond Company는 질화 실리콘의 제조 및 사용에 대한 몇 가지 특허를 등록했습니다. 1958 년, 유니온 카바이드에 의해 생산 된 실리콘 질화물을 사용하여 열전대 튜브, 로켓 노즐 및 녹기 금속을 만들기위한 도가니를 만드는 데 사용되었습니다. 영국의 실리콘 질화물에 대한 연구는 1953 년 가스 터빈을위한 고온 부품을 만들기 위해 시작되었습니다. 이로 인해 본드 실리콘 질화물 및 고온 실리콘 질화물의 발달이 이루어졌다. 1971 년 미국 국방부에 따른 국방 고급 연구 프로젝트 기관은 포드와 웨스트 하우스와 2 개의 세라믹 가스 터빈을 개발하기 위해 1,700 만 달러의 계약을 체결했습니다.
질화 실리콘의 특성은 오랫동안 알려져 왔지만, 지구상에 자연적으로 존재하는 질화 실리콘 (약 2 × 5 µm)은 1990 년대까지 운석에서 발견되지 않았다. 자연에서 발견되는 이러한 유형의 실리콘 질화물 광석은 질량 분석 연구의 선구자 인 Alfred Otto Carl Nier를 기리기 위해 "Nierite"로 명명되었습니다. 그러나 이러한 유형의 실리콘 질화물 광석은 이전 소비에트 연방 인 아제르바이잔의 운석에서 발견되었을 수 있다는 증거가 있습니다. 실리콘 질화물 미네랄을 함유 한 운석은 또한 중국 기이 저우 지방에서도 발견되었습니다. 지구의 운석에 존재하는 것 외에도 실리콘 질화물은 외부 공간의 우주 먼지에 분포되어 있습니다.
