실리콘 질화물의 합성은 1857 년 Henri Edouard Saint-Clair Deville과 Friedrich Wöhler에 의해 처음보고되었습니다. 그들의 합성에서, 실리콘을 사용한 도가니를 탄소로 채워진 도가니에 넣고 산소 침투를 줄이기 위해 가열 하였다. 그들은 실리콘 질화물이라고 불리는 제품을보고했지만 화학적 조성을 결정할 수 없었습니다.
1879 년, Paul Schützenberger는 안감 재료 (숯, 석탄 연탄 또는 코크스를 찰흙과 혼합하여 얻은 도가니 라이너로 사용될 수있는 페이스트)와 혼합 된 실리콘을 가열하여 제품을 얻어 SI3N4와 화합물로보고했습니다. 1910 년, Ludwig Weiss와 Theodor Engelhardt는 순수한 질소에서 원소 실리콘을 가열하여 SI3N4를 생산했습니다. 1925 년, Friedrich와 Sittig는 탄소의 열 감소를 사용하여 질소 대기에서 이산화탄소와 탄소를 1250-1300 정도로 가열함으로써 질화 실리콘 합성을 합성했습니다.
