질화 실리콘은 녹색, 비스킷 또는 완전히 밀집된 상태로 가공 될 수 있습니다. 녹색 또는 비스킷 상태에서는 복잡한 기하학적 모양을 만들기 위해 처리하기가 비교적 쉽습니다. 그러나, 재료의 완전한 압축에 필요한 소결 과정은 질화 실리콘 질화물 신체가 약 20%줄어 듭니다.
이 수축은 소결 전에 질화물을 가공 할 때 매우 단단한 공차를 달성 할 수 없음을 의미합니다. 매우 긴밀한 공차를 달성하기 위해서는 완전 소결 재료를 다이아몬드 도구로 가공/접지로 만들어야합니다. 이 프로세스는 매우 정확한 다이아몬드 코팅 도구/휠을 사용하여 원하는 모양이 얻어 질 때까지 재료를 제거합니다. 이것은 재료의 고유 한 강성과 경도로 인해 시간이 많이 걸리고 비용이 많이 드는 프로세스 일 수 있습니다.
